Очистка аргона
Богатый аргон после сжатия попадает в адсорбционную колонну, которая находится в адсорбционном состоянии на ступени PSA-Ar, путем адсорбции адсорбируются примеси, такие как CO2, N2 и часть O2, а не адсорбированный аргон вытекает из верхней части колонны в качестве продукта, получая аргон с частотой 99,99 – 99999.
Масштаб установки: 100~5000нм³/ч.